探针台用于对我所自行研制的基于碳材料的纳米半导体器件进行辅助分析。例如生物、化学、压力、光学传感器的电流-电压信号测试、三极管特性曲线测量等，探针台是半导体参数测试必备和重要的组成部分。尤其是对于纳米器件而言，对探针台的质量和精度要求更加苛刻，比如显微镜的放大倍数至少得100倍以上、探针移动精度在微米级别等。它是用数据线与测试台连接，共同来完成对器件性能的检测，探针台主要包括显微镜，样品载物台，定位针座，测试仪连接电缆和接口，屏蔽箱等。工作时，通过针座将探针直接接触电极表面，将电信号传给测试仪进行测试，其主要功能是电信号的采集、输入、输出，是具有独立功能的电气设备。
主要技术参数如下：
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项目
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名称 |
描述 |
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1
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探针台体
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*4英寸载物平台，X-Y移动行程4英寸x4英寸
*Y方向可快速抽出，方便取放样品
*无回差线性移动
*工作台面可线性快速升降6毫米，精调慢速升降25毫米
*显微镜平台移动行程1英寸x1英寸 |
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2
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显微镜
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*目镜放大倍率：20倍
*连续变焦范围 0.8～5倍
*总放大倍率：16-100倍
* Z轴方向的调节范围为50.8mm
*环形白色照明光源 |
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3
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磁开关针座
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* X-Y-Z线性移动范围12mmX12mmX12mm
*无回差线性移动
*牙距 80牙/英寸
*移动分辨率1微米
*磁性开关吸附底座 |
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4
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探针杆
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*管状探针夹具，1.5米三同轴电缆&接头
*带仰角倾斜机构 |
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5
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直流探针
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*直径10微米，硬质钨针
*1.26英寸长
*10根/盒 |
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6
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屏蔽箱
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*BD-4探针台专用屏蔽黑箱
*880毫米长*710毫米宽*1140毫米高 |
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7
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三同轴转接头
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*三同轴母头转三同轴母头 |
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8
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真空泵
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*7升/分钟的抽速 |
